Lihvimiskettad ränivahvlite tootmisel

Lihvimine mängib räniplaatide tootmisel keskset rolli. Turu otsimine kvaliteetsemate ja kulutõhusate räniplaatide järele seab selles tööstuses kasutatavatele lihvketastele olulisi väljakutseid. Need rattad peavad vastama rangetele standarditele, nagu minimaalne pinnakahjustus, iseseisvus, ühtlane jõudlus, pikem eluiga ja taskukohasus. See artikkel pakub põhjalikku kirjanduse ülevaadet, mis keskendub räniplaatide valmistamisel kasutatavatele lihvketastele. Selles uuritakse hiljutisi edusamme abrasiivide, sideainete, poorsuse loomise ja lihvketaste geomeetrilise disaini vallas, et täita neid nõudlikke kriteeriume.

Ränipõhised pooljuhid on lahutamatu osa erinevatest rakendustest, sealhulgas arvutisüsteemidest, telekommunikatsioonist, autotööstusest, olmeelektroonikast, tööstusautomaatika- ja juhtimissüsteemidest ning kaitsetehnoloogiatest.

Teekond tipptasemel ränivahvlite tootmiseni algab räni valuplokkide kasvatamisega, mis seejärel läbivad mitmeid protsesse, et saada vahvliteks. Tüüpilised sammud on järgmised:

Viilutamine-Räni valuplokkide lõikamine õhukesteks kettakujulisteks vahvliteks;

Lamendamine (lihvimine või lihvimine)- Vahvlite tasasuse suurendamine;

Söövitus- Viilutamisest ja lamedamisest põhjustatud kahjustuste keemiliselt kõrvaldamine;

Poleerimine-Vahvlite sileda pinna saavutamine;

Puhastamine- Poleerainete või tolmu eemaldamine vahvlipindadelt.

Lihvimine ei ole mitte ainult peamine meetod traatsaetud vahvlite lamendamiseks, vaid ka söövitatud vahvlite peeneks lihvimiseks. Söövitatud vahvlite peenlihvimise eesmärk on suurendada vahvlite tasasust enne poleerimisfaasi jõudmist, vähendades poleerimisel eemaldatava materjali hulka. See suurendab poleerimisprotsessi efektiivsust ja parandab lõplike poleeritud vahvlite tasasust.

Lihvimist saab kasutada ka täielikult töödeldud seadme vahvlite lahjendamisel enne nende tükkideks lõikamist. Õhukeste ja painduvate ränikiipide (nt kiipkaartides ja RFID-nutimärgistes kasutatavate) kasvav turg nõuab keerukamaid tagasilihvimistehnikaid.